Sistem Sputtering Sebaris
-
Sistem Sputtering Magnetron sebaris
Sistem Inline Magnetron Sputtering adalah sejenis peralatan pengendapan film tipis vakum yang bekerja untuk tujuan yang berbeda.Aplikasi paling umum dari jalur sputtering kami termasuk:
Pembuatan cermin aluminium
- Lapisan kaca ITO
- Kaca Anti Reflektif
- Pelapis dekoratif untuk stainless steel dan kaca
Sistem pelapisan ini cocok untuk aplikasi pelapisan vakum kelas tinggi.Ini menghasilkan kinerja kerja yang stabil untuk meningkatkan kualitas film pelapis vakum.
-
ITO Glass Magnetron Sputtering Coating Line
ITO Glass Magnetron Sputtering Coating Line mengadopsi teknologi sputtering magnetron vakum dan teknologi sputtering magnetron yang tidak seimbang untuk melapisi kaca apung berkualitas tinggi dengan lapisan SO2/ITO.Berdasarkan sistem kontrol lanjutan internasional.Seluruh proses manufaktur bekerja secara otomatis dan terus menerus.
-
Aluminium Mirror Inline Magnetron Sputtering Line
Aluminium Mirror Inline Magnetron Sputtering Line dirancang untuk output tinggi dari tujuan pembuatan cermin kaca.Untuk melapisi kaca yang lebih besar dan merawat panel kaca yang rapuh, terutama untuk lembaran ukuran besar, kami biasanya membuat garis sputtering tipe horizontal.Ini adalah garis pelapis magnetron kontinu, dengan ruang pompa kasar depan dan belakang, dan setelah ruang transisi, sebelum dan sesudah ruang pompa halus, ruang penyangga, ruang pelapisan warna.
Rancangan target: katoda sputtering magnetron silindris atau/dan katoda planar.
Sumber daya: catu daya dengan sputtering magnetron DC atau MF daya tinggi
Sistem penggerak: penggerak roller, pengaturan frekuensi, sistem pembukaan pintu kamar tipe induksi.
Sistem vakum: pompa difusi (atau pompa molekuler turbo) + pompa akar + pompa mekanis
