-Satu/Dua Pintu
Bingkai dan ruang terbuat dari baja tahan karat karbon.
Setiap pintu menyediakan jendela inspeksi untuk kontrol visual proses.Dinding pintu menyediakan liner stainless steel yang mudah dilepas untuk perawatan.
- Ruang Vakum yang Disesuaikan
Kamar ini menyediakan pelapis baja tahan karat bagian dalam yang mudah dilepas untuk dibersihkan.
Pompa berdiri di bagian belakangnya.
Kamar memiliki serangkaian flensa kecil untuk tujuan pengukuran.
-Sistem pemompaan vakum tinggi
Pompa difusi + Pompa penguat + Pompa mekanis
- Pengukuran dan kontrol vakum
Dengan pengukur logam Pirani + pengukur ionisasi logam
-Fixtures sistem bergerak
-Unit Kontrol PLC
-Sistem penguapan aluminium dengan transformator daya tinggi
-Bingkai besi
Strukturnya masuk akal
Lapisan filmnya seragam
Kualitas pembentuk film
Kecepatan pemompaan tinggi, siklus kerja pendek, dan efisiensi produksi tinggi
Pengoperasiannya nyaman
Konsumsi energi yang rendah dan kinerja yang stabil
Nomor model | EV-1000 | EV-1200 | EV-1400 | EV-1800 | EV-2000 | Model dua pintu atau dua kamar tersedia | |
Dimensi ruang vakum (diameter * tinggi) | 1000*1100 | 1200*1400 | 1400*1600 | 1800*2000 | 2000*2200 | ||
Bahan ruang vakum | Baja karbon, SUS304 atau SUS316L | ||||||
Teknologi kerja | penguapan ketahanan vakum dengan filamen tungsten & aluminium, transformator penguapan daya tinggi | ||||||
Sistem pemompaan | Pompa difusi + pompa mekanis, pompa pendorong | ||||||
Waktu Pemompaan | Dari atmosfer ke 5.0*10-2Pa kurang dari 8 menit | ||||||
Batas Vakum | 5.0*10-4 Pa | ||||||
Suhu kerja | Suhu kamar | ||||||
Modus kerja | Mode Otomatis atau Manual, dengan layar sentuh PLC 10,4 inci | ||||||
Kekuatan Total | 40-80kW | 70-140kW | |||||
Tapak | 2*2 meter | 2*3 meter | 3*3 meter | 3*3 meter | 3*4 meter | 4*5 meter | 5*6 meter |
Unit-unit ini dapat Anda buat khusus | 1. Ukuran ruang vakum 2. Konfigurasi pompa | ||||||
Instrumen opsional | 1. Detektor kebocoran 3. Sistem pengendapan ion busur 4. Sistem sputtering Magntron |